收效应，这就使得传统透射式光学系统完全失效。

    因此，EUV系统就必须完全采用全反射式的光路设计，甚至其反射镜面形精度要达到原子级要求

    此外，极紫外光刻技术还涉及多层膜反射镜技术、激光激发等离子体方案、超高真空环境运行、热管理、新型光刻胶体系以及计量与检测技术的纳米级突破等核心技术。

    整套装置涉及378项尖端专利！

    且不说这些专利都是秘密，就算公开，龙国想要使用，也得支付惊人的专利使用费，比单纯买光刻机贵好几百倍。

    没有人甚至没有哪个国家，能单独绕过这些专利，独立生产出精密光刻机的极紫外光发射部分。

    韦神也只敢研究其中很小的一部分。

    饶是这样，也足以让他被困在这领域近十年，焦虑到经常酗酒。

    对于林元来说，他虽已经有了完整的设计，但需要得到的数据太多太繁杂。

    五天根本不够！

    于是乎——

    他只能选择先从尖端技术开始，剩下技术含量稍弱、用不到尖端仪器的部分慢慢搞。

    “林元，你干什么？这台仪器造价八千万呢！”见林元走到一台精密仪器前，柳瑶瑶赶忙跑过来。

    “没问题，我会很小心的。”林元给了她一个宽慰的眼神，而后启动电源键。

    嘀嘀嘀——

    仪器屏幕闪烁不停，紧接着出现一把电子锁图案，并要求输入密码。

    林元尝试着输入000000/888888等傻瓜密码，皆显示错误，脸庞当即黑了起来。

    好家伙，这是在防贼呢！

    “好了...好了，我们来做简单的置换反应实验吧。”柳瑶瑶心中一松，笑着拉着林元的胳膊。

    尖端仪器上了锁，她再也不担心林元损坏赔偿了。

    林元站在仪器前，不愿离开。

    只见他眉头紧皱，思索了几秒，一手摁住电源键，一手触摸仪器屏幕。

    咔、咔——

    在又一次打开电源键的同时，手指在屏幕上昏点，几秒钟内，点了上百下！

    然后...然后一拳挥出，屏幕应声而碎，玻璃渣子横飞。

    柳瑶瑶与顾佳双目瞪圆，惊讶得合不拢嘴。

    林元则微微一笑：“果不其然，真能硬解，这方法恐怕连仪器研发工程师都不清楚。”

    啪啪啪——

    硬解掉电子锁后，林元双手五指狂舞，在仪器按键上疯狂点击。

    半个小时后，一大摞宛若外星文字的数据图表，被一旁的高速打印机打印出来。

    林元满意一笑，走到另一台仪器前，又一次暴力解锁。

    顾佳与柳瑶瑶噤若寒蝉，瑟瑟发抖。

    “完了，完蛋了！”

    未完待续——————————————