几句简单的寒暄过后，一行人换上严实的防尘服，穿过风淋室，进入了研发车间。

    一股洁净室特有的、混杂著臭氧和电子设备运转的味道扑面而来。

    车间中央，一台巨大的金属构架沉默地矗立著。

    它像一头未完工的钢铁巨兽，无数复杂的管线和精密的金属部件裸露在外，几名工程师正像蚂蚁一样，蹲在它的底座旁，专注地进行著调试。

    “这就是我们正在研发的分布式投影光刻机。”

    贺天成的声音隔著口罩，显得有些发闷，但语气里的那份投入，谁都听得出来。

    马宇腾走近几步，目光扫过那些复杂的机械结构和线缆布局。

    “进度到哪一步了？”

    贺天成领著他走到一旁的操作台，指著屏幕上跳动的数据流。

    “按计划，明年能出第一台原型机。机械组装和控制系统的框架基本成型，现在最卡脖子的，是核心零部件。”

    他话音一顿，手指向了设备深处一个空置的模组位置。

    “尤其是光源，完全依赖进口，人家给什么，我们就得用什么。”

    参观结束，眾人回到会议室。

    摘下口罩，贺天成脸上那股子技术人特有的执拗和疲惫才显露出来。

    马宇腾没绕圈子，直接拋出了一个问题。

    “贺总，对於euv技术，你们怎么看？”

    贺天成明显愣了一下，旋即苦笑起来，摆了摆手。

    “马总，咱们得脚踏实地啊。”

    他嘆了口气，像是要把胸中的鬱结之气都吐出来。

    “国內的光源技术跟国外差著几代呢。別提euv了，就是现在主流duv用的arf雷射光源模块，我们都造不出来。euv那种东西，在国际上都还没有成熟，对我们来说，太遥远了。”

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    马宇腾扶了扶眼镜，镜片后的目光看不出情绪。

    他脑中闪过一些被埋藏在记忆深处的零碎信息。

    “我听说国內有一种晶体，能產生深紫外雷射，相关技术在国际上是独一份的。”

    “这种晶体，能不能用到光刻机光源上？”

    贺天成原本有些黯淡的眼睛，瞬间亮了一下。

    “马总说的是kbbf晶体？”

    他站起身，像是被触动了某个开关，激动地走到会议室的白板前。

    “那是科学院陈老团队的成果！他们九六年就用那玩意儿搞出了六倍频技术，能把1064纳米的雷射，硬生生倍频成177.3纳米的深紫外光！”

    马宇腾紧跟著追问：“既然有这种好东西，为什么不用它来做光刻机的光源系统？”

    “唉！”

    贺天成长长嘆了一口气。

    “原理上，这种全固体光源比现在主流的雷射等离子体光源（lpp）更稳定，更纯净，是好东西。”

    “但实际操作起来，有两个要命的问题。”

    “第一，这条路，跟国际主流的lpp光源路径完全是两码事。我们要是用kbbf，就要自己设计研发全套的光源系统，没有任何经验可以借鑑。”

    马宇腾没说话，只是静静地看著对方。

    贺天成接著又说到第二个问题。

    “第二，kbbf晶体的生长技术有缺陷。它是一种层状结构，非常容易裂开，像千层饼一样。根据科学院那边的消息，他们目前还长不出能实用的大尺寸晶体，批量生產的工艺也还没有成熟。”

    “没有大尺寸晶体，光强就上不去，曝光效率不够，根本达不到光刻机的要求。”

    会议室里一片死寂。

    张如晶的眉头也皱了起来，显然，他也听明白其中的困难。

    然而马宇腾脸上却看不出半点惋惜。

    他等贺天成说完，才缓缓开口。

    “贺总，你说的这两个问题，换个角度看，恰恰是我们的优势。”

    贺天成一脸不解地看著他。

    “重新设计光源系统，就意味著我们可以彻底绕开阿斯麦和尼康他们经营了几十年的专利壁垒。我们不需要在別人的地基上盖房子，受制於人。这栋房子只要盖起来，从地基到房顶，每一块砖都是我们自己的。”

    “技术缺陷，可以用钱去砸，用资源去填。量產工艺，可以靠一次次的工程实验去磨。这些都是工程问题，不是物理原理问题。只要原理走得通，工程问题早晚能解决。”

    他的声音不大，却掷地有声。

    “一旦解决了大尺寸晶体的问题，全固体光源的精密性和稳定性，是等离子光源拍马也赶不上的。”

    “这，才是真正的弯道超车。”