第223章 实验验证的核心挑战

    贺鹏涛身为春城光机所院士，在光刻机核心光源系统这个领域中，可以说已经奉献了小半辈子时间，要单论经验绝对称得上国內顶尖专家。

    也正因如此，他才更加清楚，研发稳定极紫外光源的复杂程度。

    作为国际上公认的高端光刻机，极紫外光源可以说是必备的东西，没有这种稳定且功率足够的光源，就无法製造更精密工艺的晶片，儘管相关理论不是绝对秘密，但关键是能不能把光源搞出来。

    而徐铭藉助等离激元耦合態理论，提出了一种新的极紫外光源设想。

    相当於另闢蹊径。

    只要能完成实验验证，依旧可以获得极紫外光源。

    简单来说的话，就是原本的方法，已然被海外半导体设备公司垄断。

    导致国內这边无法实现突破。

    在这种情况下，徐铭却找到了其他道路，並且还更加高效简单，所具有的意义可想而知。

    不过贺鹏涛在今天之前，想的都是，大家先坐在一起对徐铭的设想进行完善儘可能的查漏补缺，也好减少实验的试错成本。

    毕竟从一项大胆的设想，到具体的验证结果，中间往往需要不少时间。

    但他万万没想到，看完徐铭完成的內容后，整个人直接就被震惊住，首次对真正的天才有了直观的体验。

    徐铭仅用短短几天时间，便独自完善了设想，相当於直接整了份论文出来。

    面对摆在眼前的事实，贺鹏涛回顾过往，发现以前遇到的所谓天才，和徐铭竟没有可比性，怪不得对方能在学界创造出这么多奇蹟。

    “原来真正的天才是这样式的。”

    说完心中暗自感慨一句，刚准备再开口，只听耳旁又响起丁顺安的声音。

    “徐总师。”

    “你现在可是整个光刻机专项的主心骨，眼下工作才刚刚展开，必须要注意好身体，保证睡眠多休息才行啊。”

    “下回不能这么熬了。”

    丁顺安同样看出了这份文件的含金量，心里第一反应就是徐铭熬了通宵，否则实在难以想像是几天的成果。

    外界都说徐铭一个理论数学家，担任光刻机项目的总设计师是瞎胡闹，现在看来徐铭拥有的实力，要比在公眾面前展现出口多的多。

    徐铭把丁顺安的话悉数听进耳中，知道对方是在关心他的身体健康。

    当即微笑著接过话茬回应。

    “多谢丁院士关心，我会注意的。”

    他这么多年，每天几乎都要学习十八个小时，其中还包括雷打不动的日常锻链。

    虽只用了几天对设想完善，却比其他人多很多时间。

    况且在多线程並行思维演算推导下，若完不成的话那才真有问题。

    “你们年轻人身体就是好，我和老贺就不行嘍。”丁顺安点点头微笑著打趣。

    贺鹏涛接话道：“我可比你还小一岁呢。”

    待互相閒谈了两句后，贺鹏涛突然面色严肃，用非常正经的语气看向徐铭，重新把话题给引到了正事上面。

    “徐总师。”

    “我这边已经准备妥当，隨时可以开展实验。”

    “微电子装备也一样。”丁顺安补充道。

    徐铭听完两位院士的话，又看向两旁眼中浮现出炙热目光的教授研究员，也终於不再卖关子，嘴角微微上扬拍板正式做出决定来。

    “那好。”

    “下面我来安排具体任务。”

    他这几天沉浸完善设想补充漏洞，正是为了能儘快验证极紫外光源。

    只要解决了最核心的光源系统，那么距离国內攻克高端极紫外光刻机也就不远。

    主要高端晶片涉及到的行业实在太多，还关係著很多先进技术的更新叠代，必须用最短的时间走出困境才行。

    否则较长时间待在这空窗期內，很有可能会再次被海外拉开差距。

    尤其是六代机项目，好不容易才与海外站在起跑线。

    既然大家都没有什么意见，他肯定也不会耽搁，话音落下后便直接安排起来o

    极紫外光源被称作难以驾驭的微光，海外方面的主流技术是採用雷射激发等离子体，需要用高功率雷射，以每秒数万次的频率轰击滴下的液態锡滴，將其激发成等离子体从而发出极紫外光源。

    但由於过程的能量转换效率极低，要满足晶片量產所需要的曝光速度，其功率必须达到250瓦以上，这意味著输入的能量是巨大的。

    除此之外整个光路还要在真空环境中进行，使得系统复杂性大幅度上涨。

    再加上锡滴方案產生的碎屑，更让极紫外光源系统成为科研人员的噩梦。

    而徐铭的设想，则是对系统重新架构。

    相比较主流