“250瓦，我们验证成功了！”

    隨著期望的数字终於出现，在声音落下瞬间，制室內顿时爆发出热烈的掌声，庆祝这一里程碑式重要时刻。

    “我早就说过，徐总师的方案没问题。”贺鹏涛待大家的掌声落下，抬手轻擦了下湿润的眼角，毫不掩饰堆在脸上的喜悦之情。

    旁边的丁顺安，同样內心激动不已。

    视线依旧锁定在那台毫米级演示装置上，心情复杂连连感慨。

    “从我国开始重点研究光刻机，到现在多少年了，总算实现了可商用的，足以领先世界的核心光源系统，我这辈子没啥遗憾嘍。”

    “才只是成功验证了核心光源系统，你就没遗憾了，起码也要看到咱们的极紫外光刻机问世。”贺鹏涛笑著接过话茬，跟在丁顺安后面补充了两句。

    丁顺安附和道：“有徐总师在，这是迟早的事。”

    说完两人转头看向徐铭。

    “徐总师，请允许我代表所有光机所人员，由衷向你表示感谢。”贺鹏涛最先开口道：“没有你的物理理论，我们根本不可能这么快，便攻克稳定功率的极紫外光源。”

    “仅这一项理论成果，就起码让咱们少走了几年，甚至十几年的弯路。”丁顺安也没沉默。

    面对两位院士的如此称讚，徐铭反应更快，连忙出声回应。

    “两位院士言重了，既然这个担子交给我，那我自然会尽最大努力做好。”

    “何况后面还有更重要的工作，需要我们大家完成。”

    把热烈氛围推向高峰。

    接下来的时间，实验室交给了潘耀负责。

    继续进行光源实验，好记录更加详细的数据，用於之后极紫外光刻机核心光源系统的组装。

    徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士，来到办公室安排后续工作。

    “下一步我们微电子装备，就会正式把新的极紫外光源技术，应用到光刻机的核心光源系统上，另外双工件台控制系统和计量检测系统，也都在同步的攻坚中，这些年集团的研究可不是一点成果没有。”

    办公室內丁顺安首先发言，在讲到最后一句时，能感受到话语中的自信。

    春城光机所擅长光刻机的核心光源系统，微电子装备却是主攻其他部件技术o

    尤其作为国產光刻机主力研发团队，肯定在部分领域也有著独到之处，甚至並不落后海外技术多少。

    如今最困难的极紫外光源被顺利解决，就好比在两截道路中间的大山中，打通了一条可通行的隧道，当车辆全速行驶起来，距离终点站又岂会远。

    贺鹏涛虽来自春城光机所，但对於微电子装备方面的研究还是比较认可的。

    尤其现在还进行了资源整合。

    闻言也当即讲出自己的看法和决心。

    “眼下我们有了极紫外光源，並且还是比轰击锡滴更加高效容易的技术，根据国內技术整体评估，我看最多两年时间，就能成功组装出首台国產极紫外光刻机。”

    “阿斯麦公司的新一代极紫外光刻机，恐怕也会在两三年时间內发布。”丁顺安想到什么接过话茬补充。

    贺鹏涛笑呵呵回复句。

    “那就刚好比一比，看看谁的极紫外光刻机，综合性能更加领先。”

    徐铭听完两人的对话，嘴角也不由得微微上扬，对阿斯麦公司的光刻机，还真涌现出些许期待。

    他也想看看，採用了全新物理现象理论，研发出的极紫外光刻机究竟能达到何种水准。

    估摸著拿下阿斯麦在行业中的地位，恐怕不会太难。

    思维思忖至此，他很快轻微摇了下头，暂时把这件事拋在脑后，主动提起接下来的正事。

    “后续极紫外光刻机的研发，就还拜託贺院和丁院来坐镇负责了，如果遇到什么技术瓶颈的话，隨时通知我参加研討会商议解决方案。”

    “等璇璣系统的开发稳定后，我会多关注这边的。”

    目前全新隨机几何分析框架的构建，正值最后的关键几个证明步骤。

    等完成此理论，便能正式著手开发新的算法。

    在这种情况下，他肯定不能逗留在微电子装备，今天下午就要赶回燕京继续推导。

    主要璇璣系统和光刻机，都是高端晶片製造產业链中的重要环节，只不过一个属於前端一个属於后端。

    想实现百分之百国產化升级，就必须把璇璣系统和国產极紫外光刻机，同时研发出来才行，否则单独离开哪项都无法发挥出自身的作用。

    无论贺鹏涛还是丁顺安，他们自然都清楚，璇璣系统的重要性。

    不过在听完徐铭这番话之后，互相对视一眼，依旧能看出彼此瞳孔中的疑惑。

    本以为徐铭选择把精力放在新一代eda上，只是藉助总设计师的身份，好让国內eda公司更好