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稳步来到讲台中间,他身穿简约深色正装,没有讲稿和雷射笔,顶著一张年轻且英俊的脸庞仅往那一站,便引起场內雷鸣般的掌声,更使得许多人微微调整坐姿集中注意。
哪怕温克姆和技术官布林克,都摘掉了眼镜,用镜布缓缓擦拭。
因为无论逐光极紫外光刻机达到何种水平,单徐铭对学界的贡献便足以被每个人尊敬。
这无关年龄。
徐铭此刻的神態,没有任何挑战者的张扬,反而带著种问题解决者步入实验室般的平静。
他没有寒暄耽搁时间,直接念出自己的开场白。
“在过去,光刻机的进化,是在一条既定的道路上,追求更快的马。”
“而今天我想分享的,是我们为何选择,以及如何造出了一辆车””。
说完。
背后的大屏幕中,並没有展示晶片图片,反倒是调出了一组对比鲜明的动態模擬图。
左侧为传统轰击锡滴方案,右侧则是逐光使用的全新极紫外光源系统。
徐铭侧过身子看向屏幕,为大家介绍的同时,还不忘在后面报出三个数字。
“相比较传统的锡滴发生器和雷射路径,我们根据基础物理学的新理论发现,设计出全新的极紫外光源。”
“它的能量转化效率达34%,热负载降低87%。
“连续无维护运行时间,理论超过3000小时。”
首次在大会中披露出逐光的详细数据,几乎当声音在会场落下的瞬间,台下顿时响起阵难以置信的窃窃私语。
温克姆以及技术官布林克,皆身体前倾,眉头紧蹙。
身为阿斯麦半导体设备执行长,他太清楚这些数据意味著什么。
自家公司的工程师,为提升几个点的转换效率,降低几摄氏度的镜片热变形付出的代价,在这一刻似乎显得有些近乎悲壮。
“原来是这样。”
“难怪他们能解决物镜系统的短板。”
他回想起华国研发光刻机,在物镜上面一直以来的技术落后,先前还在疑惑为何能如此快突破,现在才明白竟是凭藉全新的光源系统来进行弥补。
念头停留在这里,嘴唇忍不住微动,用仅能身旁布林克听见的声音自顾自低喃一句。
“这不是改进,是对光源物理的重新书写。”
然还没容他继续思考,注意力顿时又被台上,徐铭放出的新內容吸引。
“凭藉逐光极紫外光刻机,和璇璣算法工具,以及由我们自主研发的全新一代光刻胶共同配合,首次全链路流片验证便取得圆满成功。”
“设备综合利用率98.7%。”
“预测良率98.3%。”
“实际量测良率99%。”
目光盯著屏幕中,那近乎一条直线的波动曲线,温克姆脸上的自信彻底消失不见。
他下意识地看了眼身旁的布林克,发现后者正捧著笔记本电脑快速敲击,似乎是在验算著什么,並且整个脸色越来越白。
公司最先进的工厂,要打成这样的稳定性,需要多复杂的自適应调教,多么漫长的工艺爬坡,他们两个人可以说都非常心知肚明。
如此小的预测和实际测量误差,完全违背了他们熟知的工业常识。
却也说明对方已经具备成熟的系统协同。
毫不夸张的讲,他们与海外眾多客户,数十年磨合建立的共生生態,被这种更高效更封闭的內循环模式挑战。
关键他竟找不到自家的任何优势。
台上的徐铭,没有去关注其他人的反应,在最后他又放出了两张测试晶片的电子显微镜照片。
正是逐光生產的5纳米复杂工艺,以及阿斯麦公布的自家7纳米流片数据。
“请注意边缘轮廓与接触孔底部的形貌。”
徐铭从旁提醒著,隨之调出三维原子探针断层扫描数据图揭示细节。
能够清晰看到,逐光极紫外光刻机產出的结构,侧壁垂直度和界面粗糙度在统计指標上更优。
同样半个小时过去,徐铭的这场演讲,也以圆满的结尾进入尾声。
“我们研发的不是一台光刻机,我们提供的,是一个確定的答案。”
“输入设计目標,输出製造结果。”
“其间的所有不確定性,由我们的系统消化,这就是我们定义的下一代製造。”
隨著徐铭彻底讲完,场內掌声立刻如海啸般爆发。
久经不息。
但温克姆却听不到。
他的世界很安静。
面对摆在眼前的事实,他不得不承认,阿斯麦输了。
输的不仅仅是某一项参数,而是对先进位造”范式的定义权。
对方仅用三十分钟时间,便宣告了一个全新半导体
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