递交给工信部的《半导体发展规划》。

    他这次过来巡视，除了处理阿里和企鹅的举报之外，也被卢司长嘱咐了考察星汉科技半导体发展的实际情况，看看他们到底是不是在吹牛皮，为此巡视小组里面还特地塞了两个半导体行业的技术专家。

    没想到李兴汉直接给他来了个大大的惊喜，国产的DDR3内存居然都已经实现量产了，而且还是以远低于国外产商的生产成本。

    只要星汉半导体的生产规模铺开，以如此低廉的内存条生产成本，立马就能掌握球利基型内存市场定价权。

    这无论是对于国家的半导体行业发展，还是对他们工信部的指导工作，都是极大的利好。

    车间里的空气突然变得灼热起来，牛科长解开衬衫最上面的纽扣，声音有些发干：

    李总，能不能带我们看看成品？”

    “当然可以！”李兴汉说着，示意曹教授在前面带路。

    十分钟后，在恒温恒湿的成品检测室，工程师正用探针台测试内存条性能。

    牛科长接过一片未封装的晶圆，对着灯光观察上面密如蛛网的电路，只觉得上面每一条细小的导线都无比的美妙。

    巡视组里一直沉默的专家老陈突然开口：“李总，我有个不情之请，能不能拆一条让我们看看内部结构？”

    他指着正在测试的内存条问道。

    李兴汉考虑了片刻，点了点头，跟随行的工作人员说了一声。

    很快就有人送来了几份保密协议。

    待众人签完字，工程师用特制工具撬开内存条外壳。当看到完全不同于传统设计的堆栈结构时，老陈的眼镜差点滑落：“这是————”

    “3DNAND三维堆栈技术。”曹教授用镊子轻轻拨开芯片层。

    “我们将存储单元垂直堆栈到了36层，突破平面密度极限，通过TSV硅通孔实现垂直互联。。

    这项技术我们将来还会用在CPU和GPU的生产中，让我们生产出来的芯片具有跨代竞争的能力。”

    牛科长突然大步走向车间出口。

    众人疑惑间，只见他在走廊拐角掏出手机，手指颤斗着拨通某个号码。

    隐约能听到“立即汇报”“战略性突破”“重新评估”等零碎词句。

    5分钟之后，牛科长一脸激动地走了回来，重重握住李兴汉的手：“部里明天会派专家组来验收。麻烦李总接待一下。

    至于企鹅阿里那些举报————这都不算什么，科技创新才是国家内核竞争力。”

    当巡视组的车队驶离厂区时，最后一辆车上的小张突然指着后视镜惊呼：“那是什么？

    “”

    众人回头望去，只见晶圆厂屋顶上，大片深蓝色光伏板正在夕阳下泛着金属光泽，板面纹路恰似龙鳞般层叠起伏。

    更令人震撼的是，这些“鳞片”正随着太阳角度自动调整倾角，宛如巨龙在呼吸。

    牛科长深深地往回看了一眼，他仿佛看到一条巨龙正在苏醒，不日就将要腾飞九霄。

    送走巡查组的众人之后，李兴汉并没有陷入志得意满的情绪中。

    纳米压印光刻机虽然尤其优势，但是无法生产复杂的逻辑芯片就是其最大的劣势，这也就意味着目前的星汉科技并不具备生产CPU和GPU的能力。

    比起市场庞大的CPU和GPU乃至于手机SoC芯片而言，内存这点市场实在算不上什么。

    回到办公室后，他看向了曹清华教授问道：“纳米压印光刻机到底还有哪些问题，让它不能生产逻辑芯片？”

    曹教授早有准备，将一份标满红色批注的技术报告摊开在办公桌上：“主要就3个大问题。

    首先是多图案化工艺问题，传统光刻通过单次曝光定义晶体管结构，而纳米压印需四次叠加压印才能达到同等精度。。。

    还有就是压印模板存在纳米级气泡残留，会导致每平方厘米超200个缺陷点，内存芯片可通过冗馀存储单元规避，但逻辑芯片

    李兴汉这段时间没有少补习相关的知识，知道这些问题都非常难解决，不过他倒也不是很担心，毕竟他有挂。

    但他并没有急着开挂，而是想听听曹教授有没有什么好的想法。

    “这些问题有办法解决吗？”

    曹清华推了推眼镜：“我目前想到了一个解决思路，那就是混合光刻”方案，用DUV深紫外光刻完成关键层，纳米压印负责非关键层。”。

    然后用纳米压印负责金属互联层，利用其高深宽比优势实现1：10的铜互链接构。。

    我初步估算过，这样的混合光刻”

    李兴汉摸着下巴想了想，这确实是个不错的解决方案，要是国内有28n程能力的DUV光刻厂商倒是可以合作一下。

    可惜的是，国内现在并没有这样的厂商，中芯国际