接问。”

    王振华老师第一个发言：“吕辰同志，你们现在的高频晶体管研究进展如何，用的是硅材料还是其他材料？”

    “目前还在硅材料上探索。”吕辰如实回答，“我们在研究缩短沟道长度、减小结面积、优化掺杂分布等方法，希望把硅晶体管的截止频率提高到几百z。但长远看，要实现Ghz频率，可能需要砷化镓或其他化合物半导体。”

    “砷化镓我们有一些研究。”材料实验室的孙教授说，“我们实验室能拉制直径2英寸的砷化镓单晶，纯度达到6个9。但器件工艺还不成熟，主要是欧姆接触和表面钝化问题没解决。”

    “这正是我们可以合作的方向。”吕辰说，“‘星河计划’有完整的平面工艺线，可以做光刻、扩散、薄膜沉积。如果成电提供材料，我们可以尝试制作简单的砷化镓器件，共同摸索工艺条件。”

    孙教授眼睛一亮：“这个思路好！我们以前只能做材料表征，做不了器件。如果你们有工艺能力，我们可以深度合作！”

    李建国老师接着问：“高频封装方面，你们有什么具体设想？现在的金属-陶瓷封装，在高频下寄生电感、电容很大。”

    “我们有几个思路。”吴国华接过话头，“一是研究多层陶瓷封装，用低温共烧陶瓷(L)技术制作埋置式无源器件和三维互连；二是研究倒装焊(Flip chip)技术，缩短芯片与封装间的引线长度；三是探索硅基封装，直接在硅片上制作再分布层和微凸点。”

    他顿了顿：“但这些都需要真空镀膜、精密光刻、高温烧结等工艺。成电在真空技术和陶瓷材料方面有基础，我们可以联合攻关。”

    张明远老师关心测试问题：“高频参数测量，需要矢量网络分析仪、探针台等昂贵设备……”

    讨论持续了一个多小时，成电的老师们从各自专业角度提出问题，吕辰三人一一解答。

    双方越聊越深入，很多想法不谋而合。

    最后，王主任清了清嗓子，会议室安静下来。

    王主任缓缓说道：“星河计划在高频领域的需求是真实的，技术路线是清晰的。而成电在这些相关领域的技术积累，确实能够为星河计划提供支撑。”

    他看向吕辰：“吕辰同志，我原则上同意成电加入‘星河计划’，在高频集成电路领域开展全面合作。但有几个问题需要明确。”

    “王主任请讲。”

    “第一，合作的组织形式，是成立联合实验室，还是项目组形式？”

    “我们建议成立‘成电—星河计划高频技术联合实验室’。”吕辰早有准备，“实验室设在成电，由成电提供场地、设备和主要研究人员，‘星河计划’提供部分经费、技术需求和工艺支持。实验室主任由成电推荐，‘星河计划’派副主任。研究成果双方共享。”

    王主任点头：“这个模式可行。第二，研究方向。虽然清单列出了三十七个子项，但我们需要确定优先级，集中力量攻关最关键的几个方向。”

    “我们建议先从四个方向启动。”吕辰说，“一是高频晶体管器件物理与设计，这是基础；二是芯片上无源器件设计，直接影响电路性能；三是高频测试方法与标准，这是共性技术；四是高频集成电路的可靠性评估方法，这关系到产品能否实用。”

    “合理。”王主任认可，“第三，人才培养。集成电路是新兴领域，需要大量专业人才。成电可以开设相关课程，但需要‘星河计划’提供教材和实践机会。”

    “我们正在编写集成电路设计教材。”吕辰说，“如果合作达成，我们可以派专家来成电授课。同时，成电可以选派优秀学生到北京，参与‘星河计划’的实际项目，形成人才双向流动。”

    王主任满意点头：“各位，还有什么补充？”

    王振华老师举手：“我建议，以联合实验室的名义，申请国家级高频集成电路重点课题。这样既能获得经费支持，也能提升项目的重要性。”

    “好建议！”吕辰立即响应，“星河计划可以协助申请，我们在部委有一些资源。”

    李建国老师补充：“合作不能只停留在科研层面，应该考虑中试和转化，将来做出样品后，要能找到应用场景，进行实际验证。”

    “这正是我们需要的。”吕辰说，“星河计划有明确的应用牵引——雷达、通信、电子对抗。一旦高频芯片研制成功，立即就有用户单位进行测试和应用。”

    讨论至此，合作的大框架已经清晰。

    王主任站起身，神色郑重：“吕辰同志，我现在正式代表成电微电子系，表达加入‘星河计划’的意愿。我们将以高频集成电路为核心方向，全力支持国家集成电路产业发展。”

    他顿了顿：“不过，这样的重大合作，我需要向学校党委汇报。同时，你们也需要得到‘星河计划’指挥部的正式授权。”

    “我明白。”吕辰说，“我现在就可