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国华各递了一支,自己也点上一支。
“吕工,吴工,技术路线上的事,有时候就是需要有人把话说透。”
吕辰笑了笑:“张副院长客气了,我们不过是纸上谈兵,真要落地,还得靠你们二十五院的人。”
张副院长摆摆手:“纸上谈兵?今天昆仑-0跑起来之前,多少人说是纸上谈兵?现在呢?机器在那儿摆着,程序在那儿跑着。这不是纸上的东西,这是真东西。”
他站起来,掸了掸裤子上的灰。
吕辰和吴国华也起身相送:“行了,不打扰你们了。”
张副院长走了几步,又回过头来。
“吕工,你说昆仑-0是飞行者一号,不是B-52。但莱特兄弟飞完之后,不到50年,B-52就上天了。”
吕辰笑道,语气坚定:“咱们不用等50年,5年就够。”
张副院长点点头,转身走了。
“这个人,有意思。”吴国华笑道。
两人又站了一会儿,往会议室走。
等他们到的时候,会议室里已经坐整齐了。
主席台上的名牌已经换过。
刘星海坐在中间,左边是钱先生和王先生,右边是夏先生和孙老,还有几个吕辰不认识的人。
两点整,刘星海敲了敲桌子。
会议室里安静下来。
“今天,昆仑-0机,跑通了。”刘星海教授仿佛又确认了一遍,“首长走之前,让我转达几句话。第一,首长说,同志们做了一件了不起的事。第二,首长说,从今天起,中国人有自己的向量计算机。第三,首长要求,立即启动昆仑-1机的建设工作,三年内建成。”
他翻开面前的黑皮本子,看了一眼,又合上。
“昆仑-1的事,我们等会儿再议。现在,各组汇报一下工作进展。”
王先生最先汇报,他拿出一沓资料,放在桌上。
“光刻组汇报,2微米光刻机,已经完成实验室验证。投影式光刻系统,镜组设计完成,。深紫外光源的稳流电源,西军电那边已经交付,稳流精度千分之一。整机正在总装,预计明年一季度交付6305厂。”
他顿了顿,又补充了一句:“下一代光刻机已经在预研,目标是1微米。”
台下有人轻轻吸了一口气。
接下来。新产线洁净区验收进入最后阶段,Class 96洁净等级,按2微米工艺设计,月产1000片。”
半导体所的王守仁:“材料组汇报,区熔级锗单晶,已经能稳定生产。纯度7N,位错密度每平方厘米100以下。硅单晶的区熔提纯,也跑通了。6N纯度,达到设计要求。高纯金线、铝线,昆明贵金属所那边能量产了。电子级化学品方面,上海试剂总厂的氢氟酸、硝酸、缓冲液,金属离子含量控制在10ppb以下。光刻胶,环化橡胶-双叠氮体系,分辨率2微米,能满足当前需求。”
他顿了顿:“有一个问题,光刻胶的批间稳定性不够。这一批和下一批,性能有差异。感光所、上海试剂总厂等单位正在联合攻关。”
刘星海点点头,在本子上记了几笔。
第四个汇报的是哈工大的包康建教授。
“机械组汇报。光刻机工件台,已经完成高频脉冲电机加压电陶瓷微位移器的集成。步进精度,实验室数据,0.1微米。下一步要做的是,把这个精度稳定下来,从实验室搬到生产线上。”
接下来是上海有机所的郑教授、西军电的秦世襄、武水院的程教授、兰州物理研究所的岳伴教授……
一个一个站起来,一个一个汇报。
进展很多,问题也不少。
但总的气氛是积极的,向上的。
吕辰坐在后排,一页一页地翻着笔记本,把各组的关键数据记下来。
下午四点,所有组汇报完毕。
刘星海站起来总结道:“各组的工作进展,我都听了。此外,我也给大家汇报一个好消息,我们第一批发布的791项技术清单,经过三年多的攻坚,也基本达到设计要求。”
他顿了顿,提高声音:“也就是说,星河计划的第一阶段,技术补课,我们基本完成了。”
“2微米光刻机,2微米光刻胶,6N硅单晶,10p
他看着台下:“但这不是终点,技术补课完成了,下一步是什么?”
他自问自答:“是领跑!从补课到领跑,就是星河计划第二阶段的目标。”
弯腰从桌上拿起笔记本:“下面,我宣布第二批任务清单的制订要求。”
他翻开黑皮本子,一页一页地念。
“第一条,从补课到领跑,深化国产替代。”
他看着台下:“第一批任务,我们解决了有没有的问题。第二批任务,就要解决好不好的问题。光刻机,2微米做
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