预补偿件开始工作——通过精確控制腔体壁上预埋的热电偶和微调机构，对热膨胀效应引起的形变进行实时补偿。

    这套预补偿系统的设计原理，正是基於苏辰在笔记本第5本第112-116页推导出的等效热弹性近似法。

    补偿方向：径向。

    补偿量：根据解析解实时计算。。

    “预补偿系统运行正常。。“

    苏辰微微点头。

    但他知道，预补偿系统能不能真正起作用，要等到刻蚀结束后才能知道。

    现在能做的只有一件事——等。

    与此同时。

    深圳，南山区，鸿远飞鸟总部。

    林薇坐在办公室里，面前的电脑屏幕上没有打开任何网页。

    她盯著手机看了五分钟了——苏辰的微信头像是灰色的，显示“对方已关机“。

    她知道苏辰在首测。

    她也知道自己什么都帮不上。

    前天的直播，她能做的已经做了。昨天博世15亿的消息，她已经看了一整天。今天——

    今天只能等。

    她的手机上有317条未读消息——投资人、媒体、行业协会、飞鸟联盟成员、甚至几个中央部委的处级干部。所有人都在问同一件事：

    “250验证什么时候出结果“

    林薇没有回覆任何一条。

    因为她不知道答案。

    她只知道苏辰说过的那句话——“你去替我说话，我留下来替你做事。“

    所以她等。

    上午11点整。

    实验室。

    刻蚀已经进行了三个小时。。

    一切正常。

    但苏辰的眉头在过去十分钟里微微皱了一下——不是因为数据出了问题，而是因为他注意到预补偿系统的补偿量在最后阶段出现了一个微小的波动。。。

    “赵琳。“

    “在。“

    “热电偶7號的读数。。“

    苏辰沉默了几秒钟。

    “继续监控。，立刻通知我。“

    “明白。“

    波动没有扩大。

    上午11点37分，最后一个bosch循环完成。

    “刻蚀完成。“李明的声音从控制台传来，带著一丝难以克制的颤抖，“目標深度达標。正在降温。“

    实验室里没有人说话。

    没有人欢呼。

    因为所有人都知道——刻蚀完成不代表成功。真正决定成败的，是接下来的测量环节。

    降温用了40分钟。

    中午12点17分，腔体温度降到了室温。

    苏辰亲自操作了取样程序——將刻蚀完成的250硅片从腔体中取出，放置在测量平台上。

    这片硅片是全世界第一块在250尺寸drie设备上完成bosch工艺刻蚀的硅片。。

    但在它的表面之下，是数百个深度超过300微米的微型腔体——每一个腔体的侧壁角度，都將决定苏辰过去四个月的推导是对还是错。

    苏辰把硅片固定在扫描电镜的样品台上。

    “开始测量。“

    扫描电镜的探针开始工作，逐个扫描硅片表面的微型腔体。数据在屏幕上实时生成——

    侧壁角度的测量值一个一个地跳出来。

    实验室里安静得只能听到扫描电镜的嗡嗡声和所有人的呼吸声。

    苏辰盯著屏幕。

    沈志明盯著屏幕。

    李明盯著屏幕。

    陈国栋盯著屏幕。

    赵琳盯著屏幕。

    所有人都盯著屏幕。

    三分钟后，第一组测量数据出来了。

    仿真组b预测值：12.11度

    等效热弹性近似法解析预测值：12.05度

    然后，最

    实测值：12.03度

    实验室里依然没有人说话。。。。。。。

    苏辰的手指在键盘上停了两秒钟。

    然后他说了一句话——

    “再测一次。“

    没有人反对。

    第二组测量在十五分钟后完成。

    偏差0.01度。

    苏辰看著屏幕上的数字，沉默了大约五秒钟。

    然后他转过身，面对他的团队。

    他的表情没有太大的变化——没有狂喜，没有激动，没有热泪盈眶。

    只是嘴角微微上扬了一点点。

    “验证通过。“

    两个字。

    实验室里沉默了一秒。