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题等待解决。
。并以此构成了第一代宙斯盾系统的核心。
直到90年代,采用液相外延法取代了液封直拉法和水平布里奇曼法,并采用光学光刻配合电子束光刻,勉强实现了砷化镓器件的工业化生产。
。成就了一段先敌发现,先敌开火的无敌神话。
后面的就不需要絮叨了,老美用功率密度一到三瓦的第二代半导体材料的砷化镓,碾压了功率密度0、1到0.5瓦的硅基器件,保持了二十多年的领先。
我们采用“蛙跳”战术,跳过了第二代半导体材料,直接上功率密度十到二十瓦的氮化镓……
在80年四月这个时间点,曲卓不知道老美的砷化镓距离工业化制备还有多远。但他知道京城的半导体所差的还很远,即便有他提供的外延生长设备。
眼下在实验室内仅能制备2英寸单晶锭,缺陷密度高达每平方里面十的四次方。砷化镓器件的加工,正在摸索和积累经验。
实验室制备,他能帮上忙。但想实现工业化制备,他能做的十分有限。
以他的所知,起码需要自行设计钼制加热线圈,并完成由计算机控制的“梯度升温法”。解决区域熔融和液相外延复合工艺,还需要研制卧式外延炉,开发晶体切割与抛光自动化生产线。
对实验室精密设备的“掌握”,曲卓是借助剑桥,剑桥依靠欧洲的技术实力完成的。
工业化生产,原本也计划借助欧洲的技术实力。
但之前从高卢往回来时,小日子一头撞了上来。眼下正排在戴英和高卢后面,急的一蹦一跳呢……
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