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以轻松生产10n7n…
可惜想要更进一步,还是需要EUV光刻机的。
不过项目突破这倒是个大事,于是他立刻给任正非打了电话,至于工信部那边……项目团队那边会通知的。
毕竟晨星集团从一开始就是一家国企
7月4号,一行人来到了晨星产业园。
园区创建在山脚下,四周被绿化带围着,安保等级堪比军工单位,每隔50有一处岗亭。
进出的车辆都要经过两道安检。
落车后,一行人先去更衣室换上了全套无尘服,经过一系列的测试后,一行人都走进了研发中心。
研发车间里,一台近两层楼高的精密设备,静静地放在车间中央,银灰色的机身布满管线与光学模块,一些工作人员,正在做最后的校准。
机身层面,依旧写着晨星14A,没错,和普通DUV 光刻机一样的命名……
“各位领导,沉总,任总。”
迎上来的是浸没式DUV光刻机的总工程师陈建明:
“咱是个技术人,所以我也就不讲那么多废话了。”
听到这话,三人都点了点头,工信部的部长却是故作生气的说道:
“老陈,你这是在沉总和任总面前给我上眼药呢?”
说完他还哈哈笑了起来,然后对着旁边的两人说道:“我和老陈是高中同学,后来还是一个大学,只不过我们学的不是一个专业。”
听到这里,陈建明连忙咳嗽了一下:
“好了,不聊了,不然咱俩的老底都被揭出来了。
这就是我们同步研发的v光刻机。
内核的193n紫外光源
工信部部长仔细打量了一下好友:
“你确定?自主国产?”
虽说早在DUV上面已经见识过一遍,但放在这台机子上他还是有点不敢相信。
毕竟两者的技术含量根本不是一个等级。
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