林本健只穿了一件白衬衫，袖口卷到小臂。

    脸上带着一种少见的兴奋。

    “陈总，先看180n线。”林本健没有寒喧，直接带着陈启文往洁净室的方向走。

    两人换上无尘服，穿过两道风淋门，走进洁净室。

    眼前的景象和周国明上次带陈启文来看，第三代四合一套片产线时完全不同。

    首批五台ASML 180n刻机全部到位，一字排开，每台机器都在全速运转。

    机械臂将一片片八英寸晶圆送入光刻机，曝光、显影、蚀刻……

    每一个步骤都在纳米级的精度下完成。

    洁净室里的工程师们，在各个检测台之间穿梭，屏幕上滚动着实时的良率和产能数据。

    林本健指着其中一台光刻机上的铭牌：ASML，PAS 5500，2004年1月交付。

    “浸润式专利换来的设备优先供货权，让我们比台基电的其他客户，提前了至少半年拿到这批机器。

    ASML那边的排产优先级，我们和台积电完全持平。”

    “台基电知道吗？”

    “半导体圈子没什么秘密。

    他肯定知道。

    张中谋的情报系统不是吃素的。”

    林本健笑道：“但他知道也没用。

    我们的专利授权协议，是法律层面的保障。

    更是ASML所渴望，不可能为一个客户的施压，放弃和我们的合作。

    更何况，我们现在是ASML在亚太地区除了台基电之外最大的客户。”