虎了。”

    邓威指着那个尖峰，声音里的骄傲褪去了大半。

    “换向瞬态振动的振幅虽然只有十几纳米，但是在高速扫描状态下每次换向都会来一次，平均每片晶圆要经历上千次换向，累积下来曝光线条的边缘粗糙度就超标了。

    我们试过的控制算法不在少数，可是，PID的增益调大了就会引入高频噪声，调小了压不住尖峰，而滑模控制在切换面上抖振太大，自抗扰的扩张状态观测器又对这类脉冲型扰动的跟踪有延迟，等观测器跟上的时候尖峰早就已经过去了。

    能用的方法都试过了，可全都没效果。

    我们另外还试过迭代学习控制，但是工况变化之后学习率收敛实在太慢了，换一批量就重新来一遍，根本跟不上量产的节奏。”

    他说完这段，自己都觉得自己象是在倒苦水，但肖宿的表情没什么变化，只是盯着那个尖峰看了好几秒。

    他脑子里已经把邓威说的那些控制算法的特点挨个过了一遍。

    他们试过的那些方法局限性确实挺大的，PID是线性控制器，对付脉冲型扰动本来就不是长项，滑模的抖振在纳米级定位精度下也是致命缺陷，而自抗扰的观测器带宽有限，跟踪延迟是结构性的。

    此外，迭代学习在变工况场景里收敛太慢，量产确实不适用。