层出不穷：“多束相干合成”“全局协同优化”“全局耦合优化”“稀疏正则化”……

    这些词他当然都知道，可他从来没想过，或许应该说，从来没有人想过，它们竟然还能被拼在同一份光刻系统的设计方案里。

    他下意识地把那页纸往眼前凑了凑，从第一行开始，一个字一个字地往下移。

    每多读一句，他脸上的表情就微妙地变化一点。

    翻到波前协同控制那一章的时候，他的手指停在一个公式旁边，整个人象是被按了暂停键一样怔在了原地。

    在这里，肖宿直接将光源、物镜、工件台三大子系统的所有自由度全部纳入了同一个运算体系，再用一种前所未见的思路逐层拆解成独立运算模态，最后，借助图拉普拉斯矩阵谱分解的推演方式，原本各自独立、互不连通的三套运算逻辑，就此浑然融为了一个完整的整体。

    三个模块，以前是你动我也动、你偏我也偏、怎么都拧不到一起，现在竟然被一个公式给捏成了同一个东西。

    高长安哪怕看不懂这个算式，也还是立马明白了这条研究路线蕴藏的无上价值。

    他几乎都要感觉不到自己的呼吸了。

    肖宿天马行空的的构思，再加之炉火纯青的理论运用，简直让他浑身都起鸡皮疙瘩了。

    如果这套方案真的能落地，华国的光刻技术就不是追赶不追赶的问题了，而是直接开辟出一条全新的道路，一跃实现领先，顺势起飞了。