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溶胶凝胶法我们实验室做过,”
周飞宁把手里的文档夹抱在胸前,目光认真,“当时我们是用二甲基二乙氧基硅烷和苯基三甲氧基硅烷共前驱体,盐酸催化,交联度确实比正硅酸乙酯体系低了不少,做出来的薄膜柔性好了很多。
但是这样的问题也很大,膜厚均匀性非常差,旋涂出来的膜在边缘和中心局域的厚度能差到百分之二十以上,根本达不到纳米级膜厚控制的要求,所以后来也就搁置了。”
“百分之二十的均匀性,”肖宿微微点了点头,象是早就料到了这个数据,“这应该不是非水解溶胶凝胶法本身的问题,而是你的溶剂挥发曲线和旋涂转速曲线没有匹配好。”
“?”
这话不禁让周飞宁愣了一下。
溶剂挥发曲线和旋涂转速曲线?
这两条曲线的匹配问题,她以前确实没往这个方向想过。
在她十几年的镀膜经验里,旋涂工艺的优化主要靠调整转速、时间和溶液浓度这几个参数,从来没有人告诉过她,溶剂挥发曲线和转速曲线之间还存在着一个可以定量优化的匹配关系啊。
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