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,天卓精密直接搞出了商业量产级别的工程机!!双台交接的同步延迟几乎为零,彻底打破了阿斯麦(as)在这项专利上的垄断!”。这台子稳,咱们的光刻机跑得就快。那激光那边呢?”
陈立峰翻开第二份文件:“光源这边,我们盯上的是中科院光电所的郑勇博士团队。联合光电所以及国内几家半导体材料企业,我们控股组建了天虹激光科技股份有限公司。”
“光刻机的光源,可以说是雕刻芯片的那把‘刀’。”陈立峰解释道,“我们不能用普通光,波长太大刻不细,必须用深紫外激光。这就好比在一粒米上刻字,必须用最细的手术刀。”
“但这把手术刀其实是个闪光灯。它需要在一秒钟内连续闪烁几千次,而且每一次释放的能量必须绝对一样,不能多一丝一毫,否则刻出来的电路就会深浅不一、导致短路。”
......
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