级别的扫描投影式光刻；紧随其后的第四阶段，则是步进投影式光刻。

    至于更遥远的未来，如浸没式光刻、极紫外光刻等技术，此刻尚且不必多谈。并非刘光琪不愿直接跨越前期阶段，而是时代的客观条件，暂时划定了技术发展的强界。

    路要一步步走，饭要一口口吃。

    对此刻的种花家而言，刘光琪心中清淅的规划，是在未来几年内，将光刻技术推进至下一关键阶段——实现一微米精度的光刻设备。

    半导体研发车间门外，五组全体成员早已到齐。

    他们聚在工作台周围，眼中闪着光，低声交谈着，目光却不时飘向入口。

    “你们猜，这次所长需要多长时间？”一个年轻研究员搓着手，声音压得很低。

    “难说，所长的思路和我们本来就不在一条轨道上。”

    “本以为接触式光刻机做成后，总要沉淀个一年半载。没想到所长转身就瞄准了下一关，而且还是这么紧张的档口。”

    “习惯就好！咱们所长哪次不是这样？不鸣则已，一鸣惊人。”

    “说得对，跟着所长干，没点承受力还真顶不住，简直……太燃了！”

    正低声议论时，刘光琪的身影出现在门口。

    车间外骤然安静，所有目光齐齐投向他，那里面是一种近乎本能的信赖与期盼。

    老组员尚且镇定，那些从水木大学新来的年轻人，在过去一年多的日子里，跟着刘光琪从无到有，亲手组装出第一台接触式光刻机。刘光琪几乎是把那些艰深晦涩的原理揉碎了、化开了，一点点喂进他们心里。如今的五组，早已不是当初那批摸索前行的新手。他们懂得如何协作，也明白下一步该往哪儿走。

    刘光琪没有多言，径直走向放置着样品的工作台，开始了接近式光刻机的攻坚。

    接下来的日子，整个第五研发车间尤如一台精密仪器全速运转。

    而刘光琪，就是驱动这一切的内核。

    他带领所有人，扎进由图纸汇成的半导体之海，穿行在堆积如山的零件丛林间。

    没有人喊累，也没有人叫苦。

    不仅仅因为刘光琪始终冲在最前，更因为他们亲眼见证着一个奇迹的诞生——

    一台结构远比第一代接触式光刻机更为精密的机器，正从虚幻的蓝图中脱胎，在刘光琪手中如拼合瑰丽的积木，逐渐化为切实存在的重量。

    从底座的第一颗螺栓，到最后一枚螺钉的归位，当最终部件严丝合缝地安装完成，这台接近式光刻机正式宣告完工。

    车间里静得能听见彼此的呼吸。

    所有人的视线都凝聚在刘光琪身上，等待着他最后的判定。

    刘光琪仔细测试过各项工艺参数后，缓缓吸了一口气。

    他环视周围——每一张脸上都挂着疲倦的血丝，每一双眼睛里却烧着灼热的期待。

    他的声音不高，却清淅地传遍车间每个角落：

    “同志们，我们的接近式光刻机——成功了！”

    “工艺精度，四微米级！”

    短暂的寂静之后，不知是谁先喊出了声：

    “成了！我们成了！”

    倾刻间，整个车间沸腾起来。

    几个年轻研究员激动地抱在一起，又跳又笑，仿佛回到孩童时代取得满分的那一刻。

    “太厉害了所长！我们又做到了！”

    车间外，因洁净要求而轮候的其他组员听到里面的欢呼，也跟着陷入狂喜。

    四微米——

    从十微米的接触式，直接跨越至四微米的接近式！

    如此短的时间，连续突破光刻技术的两重关键门坎。

    这消息若是传出去，恐怕大洋彼岸负责半导体领域的那些研究者，得连夜走进教堂，找他们的上帝好好聊一聊。

    说不定还会暗自嘀咕：上帝是不是悄悄换了岗位，跑到种花家这边显灵来了。

    车间内，刘光琪望着眼前这台凝聚了众人心血的光刻机，紧绷许久的神经终于松了下来。

    成了，而且比预想的更加顺利。

    从今往后，种花家的芯片产业，终于能向前跨出一大步，真正拥有与世界并肩对话的底气。

    当众人还沉浸在成功的馀韵里，商量着如何庆贺时，刘光琪的视线早已穿过眼前的设备，投向了更远的彼方。他唇角牵起一抹难以捉摸的浅笑。

    接近式光刻机？

    这仅仅是个开始。

    静园之中，这项研发的尘埃落定，仿佛一枚石子坠入深潭，在刘光琪心底漾开一圈又一圈无声的波纹。紧绷数月的弦，终于在成果落定的次日松缓下来。恰是周末，他破例决定给自己一整日的闲遐。

    更精密的机器即将诞生