三个人安安静静地签完了文件。

    刘少军签完最后一个字，抬头看了一眼林薇，说了一句话：

    “回去告诉苏辰，国家的底气在这儿。让他安心搞技术。“

    林薇微微一愣，然后重重地点了点头。。。。

    这个数字足以支撑drie的研发、s开发板的免费推广、以及鹏程新材碳纤维预浸料產线的改造。

    钱不是问题。

    时间才是。

    …

    同一天，下午五点，苏州工业园区。

    苏辰站在陈国栋团队的实验室门口，看著眼前这间被改造得面目全非的车间。

    三个月前他第一次来这里的时候，这里还只是一个简陋的实验平台——几台二手真空设备、一台改装过的等离子体源、还有满地的管线和线缆。

    但现在，这里已经变成了一个像模像样的drie实验室。

    车间中央矗立著那台200毫米drie原型腔体——不锈钢外壳在日光灯下泛著冷冽的金属光泽，腔体顶部连接著密密麻麻的管线，旁边是全新的射频电源和气路控制柜。

    而最引人注目的，是腔体內部的四组导流槽。

    这是沈志明根据第7组数据异常推导出的方案——通过在腔体內壁安装特定角度的导流槽，精確控制sf?和c?f?的气流场分布，从而在更大的腔体內实现与小腔体相同的刻蚀均匀性。。

    “苏总，设备已经就绪。“陈国栋走过来，手上沾著油污，但脸上带著压抑不住的兴奋，“rf电源昨天调试完成，腔体真空度达到了5x10?3 pa的设计指標。气路系统也做了三次泄漏检测，全部合格。“

    “沈志明呢“

    “在控制室里做最后的参数確认。“陈国栋朝车间另一头的隔间点了点头。

    苏辰走进控制室，看到沈志明正盯著电脑屏幕上密密麻麻的数据曲线。

    这个三十出头的前中微半导体工程师，自从加入陈国栋的团队后就像换了一个人。在中微半导体的时候，他负责的是成熟工艺的维护和优化——日復一日地调参数、跑测试、写报告，技术上几乎没有任何突破的空间。

    但在这里，一切都是从零开始的。

    没有现成的工艺参数可以照搬，没有教科书可以翻阅，每一个数据都是他们自己一刀一刀刻出来的。。

    “数据准备好了“苏辰问道。

    沈志明转过头来，眼睛里布满了血丝——显然又是一个通宵——但精神却极度亢奋。

    “苏总，我把200毫米腔体的仿真跑了12轮。。理论上，这个均匀度已经可以满足批量刻蚀的要求。“

    苏辰凑过去仔细看了看那组仿真结果。

    12轮仿真

    在所有参数

    和沈志明在小腔体上发现的“异常数据“完全吻合。。

    但虚擬空间的验证和真实世界的实测之间，永远隔著一道鸿沟。

    “准备开始吧。“苏辰说道。

    陈国栋和沈志明对视一眼，然后同时点了点头。

    晚上七点，200毫米drie腔体的第一次正式实测正式开始。

    苏辰站在控制室的观察窗前，看著腔体內射频电源点亮的那一刻——一团淡蓝色的等离子体在腔体中央缓缓成型，如同深海中绽放的水母，美得令人窒息。

    。“沈志明的声音从对讲机里传来，专注而平稳。

    “sf?流量120s。气流场分布正常！导流槽工作正常！“

    苏辰的双手不自觉地攥紧了。

    这一刻，他想起了三个月前在这间实验室里，陈国栋第一次成功点亮等离子体时的场景。。

    而现在——

    “第一轮刻蚀完成！“沈志明的声音突然拔高了一个八度，“苏总！！

    控制室里爆发出一阵欢呼声。

    陈国栋激动得满脸通红，一把抓住沈志明的肩膀用力摇了两下：“成了！导流槽方案成了！“

    但苏辰没有加入欢呼。

    他的目光紧紧盯著屏幕上的另一组数据——腔体中心与边缘的刻蚀深度差异。

    这才是导流槽方案最核心的验证指標。

    数据在屏幕上一行一行地跳出来。。。。。。。。

    。。“苏辰的声音有些沙哑，但每个字都像是从胸腔里挤出来的。

    控制室再次安静了一瞬。

    然后，比第一次更加猛烈的欢呼声爆发了出来。

    沈志明直接从椅子上跳了起来，双手高高举过头顶。陈国栋则是一屁股坐在了地上，仰头看著天花板，眼眶泛红。

    在这个简陋的苏州工业园区实验室里，在这个2020年11月7日的夜晚——

    中国第一台具备量產潜力的200毫米drie深硅刻蚀原型设备，完成