返回第二百二十一章 长天光学突破  你一个三轮组装厂,造出光刻机?首页

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    第221章 长天光学突破大半年的时间转瞬即逝。

    郑东新区,长天光学实验室地下核心实验区。

    穿过三道除尘风淋室,实验室内常年保持着恒温恒湿的严苛环境。

    王立国穿着厚重的全封闭防静电服,虽然隔着口罩,但依然能看出他眼底布满血丝的疲惫,以及根本按捺不住的狂喜。

    在他面前的超精密减振台上,安静地放置著一个高达近一米、重达数百公斤的金属圆筒。

    这并不是什么普通的金属疙瘩,而是代表着人类光学制造工业皇冠上的明珠——光刻机投影物镜系统。

    “许总,我们成了。而且,比国家02专项原定的节点,还要快得多!”

    王立国深吸了一口气,对着身旁同样穿着防静电服的许晨说道,声音因为过度兴奋而有些沙哑。

    许晨看着眼前的金属圆筒,眼神明亮:“王院士,这就是咱们这大半年来,日夜不停加工出来的心血?具体参数走到哪一步了?”

    王立国点了点头,拍了拍金属圆筒汇报道:“许总,其实国家在光刻机研发上早就布局了。按照原本的进度,国内这两年也就是勉强摸到90纳米节点的门槛,而且良品率和稳定性一言难尽。”

    “但是,您弄回来的那台汉斯原厂极精密设备,加上天宇不计成本的资金砸下去,彻底打破了物理加工的瓶颈!目前摆在您面前的,是我们打磨出的国内最高水平的arf(氟化氩)干式光刻机投影物镜系统。!”

    看到随行的天宇高管面露疑惑,王立国主动用通俗易懂的话解释起来。

    “各位,光刻机的工作原理,就像是我们小时候玩的幻灯片投影仪。咱们的芯片图纸就画在幻灯片上,光线穿过这几十片镜片,把庞大的图纸成比例缩小,精准地印在硅晶圆上。”

    “如果说造航母是宏观工业的巅峰,那这玩意儿就是微观工业的神迹。想象一下,你要把整个帝都市的详细交通地图,一比一不差分毫地画在一粒大米上。这套物镜,就是那支用来画图的笔。”

    王立国指著金属筒:“因为图纸缩得太小了,光线穿过玻璃时会发生畸变。!什么概念?如果把这片镜片放大到整个地球那么大,它表面的起伏高低,连一根头发丝的厚度都不到!”

    随行的高管们听得倒吸了一口凉气。。的镜头,已经完全能够支撑65纳米工艺节点的芯片量产!如果配合上芯片厂的多重曝光技术,它甚至能去摸一摸45纳米的门槛!这比国家原定的90纳米目标,整整跨越了一个大台阶!”

    “好!太好了!”。!”

    许晨转头看向身后的陈立峰:“给王院士团队的所有研发人员发奖金!从晨宇资本账户里拨五千万出来,作为这次攻克物镜系统的专项奖励!”

    “我替同事们谢谢许总!”王立国也不客气,搞科研的也是人,不仅要讲情怀,更要讲真金白银。

    许晨离开长天光学的无尘车间。

    回到天宇集团总部的办公室,许晨脱下外套,喝了一口水。

    晨宇资本负责人陈立峰一同进入。

    当初去长春找王立国谈判,就是陈立峰带着法务部骨干一路跟进的。

    许晨坐下,目光转向陈立峰,“我之前交代你的另外两件事,目前进展怎么样了?”

    造光刻机,有三座大山。

    光学物镜系统、超精密双工作台、核心光源。

    许晨早就知道,国家在2016年其实已经出了不少成果,但很多都停留在实验室阶段,缺乏商业化量产的稳定性。

    光靠一个长天光学,造不出完整的光刻机。所以在投资长春光机所后,他立刻让陈立峰带着资金,去国内寻找另外两座大山的顶尖团队。

    “许总,按照您的指示,这两条线这大半年来我一直在亲自跟进。”

    陈立峰打开厚厚的公文包,拿出了两份绝密的文件递给许晨,“有了天宇的资金支持,他们的研发进度同样比国家原定的计划提前了一大截。”

    “首先是超精密双工作台。”陈立峰指著第一份文件,“我们找到了水木大学的朱建平教授团队。我们砸了6个亿进去,联合水木大学,成立了天卓精密控制技术有限公司。”

    陈立峰翻开报告:“许总,光刻机在曝光的时候,底下承载硅片的工作台需要飞速移动。这就好比,您需要在一列时速三百公里的高铁上,不仅要用针去穿线,而且每次穿线的误差不能超过一根头发丝的万分之一。”

    “更变态的是,为了提高效率,现在都是双工作台。一个台子在底下测量,另一个在上面曝光。等曝光完了,两个台子还要在极其狭小的空间里瞬间互换位置,期间不能有任何震动。”

    陈立峰指著报告上的数据,语气激动:“原本朱教授团队在实验室里只有初代样机。但这大半年来
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